討論公司位移精密平臺實驗結果及數據分析

添加時間：2016-7-4 6:26:47 作者：浙江金科機械傳動有限公司

位移精密平臺固有頻率測試采用簡單易行、測試精度高的鋼球沖擊法,測試過程為:由壓電加速度傳感器測出鋼球對壓電微動工作臺運動部分的時間響應,電荷放大器將壓電加速度傳感器輸出的電荷信號轉換為電壓信號并進一步放大,電荷放大器的輸出信號分為兩路,即
(1)輸入示波器,用于觀察信號的時域波形。
(2)輸入結構動態分析儀,對時域信號進行快速傅里葉變換(fft)分析,繪圖儀在結構動態分析儀分析的同時繪出信號的頻譜。
位移精密平臺x、y向的固有頻率分別為1725 hz和1 296 hz。實際上,由于壓電加速度傳感器也具有一定的質量,將產生負載效應,所以壓電微動工作臺的實際固有頻率要比上述測試結果略高。x向的固有頻率高于y向的固有頻率,其原因是x向的慣性質量小于y向的慣性質量。
有限元分析得到位移精密平臺的1階固有頻率為737hz,有限元分析結果與實驗測量值相差較大,主要有3方面原因:
(1)線切割過程中的高溫對微動臺表面形成了淬火[5],增加了微動臺的剛度,提高了微動臺的固有頻率。
(2)加工過程中,工作臺內部產生了殘余應力[5],增加了工作臺的剛度,提高了固有頻率。
(3)線切割過程中在位移精密平臺加工表面形成凹坑和凸緣,與有限元分析的表面拋光的初始條件不同,這也是有限元分析與實驗結果不一致的一個重要影響因素。